金融界2024年10月9日消息，国家知识产权局信息显示，昆山艾森世华光电材料有限公司申请一项名为“一种晶圆表面镀层设备”的专利，公开号CN118748162A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明涉及晶圆镀层技术领域，具体为一种晶圆表面镀层设备，包括：储水框内设置有进水管，储水框表面设置有清洗池，清洗池的表面开设有安装槽，安装板内开设有放置槽，放置槽内设置有水管，水管表面设置有喷头，水管底部设置有软管，放置槽内设置有支撑杆；有益效果为：可利用清洗池内部的清洗液对晶圆托架上的晶圆进行清洗，当清洗后可将清洗液排出就可配合着水管与喷头，利用喷头喷出的水对晶圆进行二次冲洗，水管与喷头放置在安装板内部，可避免水管与喷头暴露在清洗池的两侧占用空间，另一方面也可利用安装板对清洗池侧面开设的安装槽进行填充避免清洗池两侧面发生缺失的问题。
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